近日，長三角一體化示范區(qū)（浙江嘉善）嘉芯半導體設備科技有限公司發(fā)生工商變更，新增股東比亞迪股份有限公司、深圳市創(chuàng)啟開盈創(chuàng)業(yè)投資合伙企業(yè)（有限合伙）；公司注冊資本從3.71億元增加到4.12億元。
2021年，以寧波芯恩為主體攜手掌握離子注入機技術的萬業(yè)企業(yè)，成立嘉芯半導體，萬業(yè)和寧波芯恩的持股比重分別為80%和20%。嘉芯半導體聚焦半導體核心設備賽道，覆蓋包括刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理及退火、清洗設備等設備環(huán)節(jié)。
據(jù)悉，寧波芯恩成立于 2017 年，法定代表人為中芯國際創(chuàng)始人張汝京。
圖片來源：拍信網(wǎng)正版圖庫
據(jù)嘉芯半導體董事長兼CEO周偉芳介紹，嘉芯半導體投資興建的109畝產(chǎn)業(yè)園區(qū)僅用8個月時間便完成了新建廠房的封頂，預計即將完成全部的竣工驗收，下半年開始搬入，未來將成為華東地區(qū)最大的集成電路前道設備研發(fā)制造基地之一。
項目總投資20億元，規(guī)劃面積達109畝，擁有14萬方廠房面積，覆蓋刻蝕機、薄膜沉積、快速熱處理及褪火等多款集成電路核心前道設備，未來將形成種類齊全的設備基地。
目前，嘉芯半導體累計訂單已突破4.6億元。其中包括氮化硅等離子刻蝕機、金屬等離子刻蝕機、側墻等離子刻蝕機等在內(nèi)的刻蝕設備，高密度等離子薄膜沉積設備（HDP-CVD）、二氧化硅等離子薄膜沉積設備（PECVD）、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學沉積設備（SACVD）、鈦/氮化鈦沉積設備（MOCVD）、鋁銅金屬濺射設備（PVD）等在內(nèi)的薄膜沉積設備，以及快速熱處理（RTP）、雙燃燒+雙水洗尾氣處理等多個品類。（文：集邦化合物半導體 Amber整理）
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