10月12日，據(jù)正定發(fā)布消息，杭州晶馳機(jī)電科技有限公司（下文簡(jiǎn)稱(chēng)“晶馳機(jī)電”）半導(dǎo)體材料裝備研發(fā)生產(chǎn)項(xiàng)目正加速推進(jìn)建設(shè)進(jìn)度，有望在十月下旬投產(chǎn)。
source：正定發(fā)布
據(jù)介紹，晶馳機(jī)電半導(dǎo)體材料裝備研發(fā)生產(chǎn)項(xiàng)目總投資2億元，占地約50.26畝，總建筑面積約20000平方米，項(xiàng)目分兩期建設(shè)，一期建設(shè)計(jì)劃時(shí)間為2025年—2026年。項(xiàng)目以金剛石設(shè)備與碳化硅外延設(shè)備為產(chǎn)品核心，專(zhuān)注于第三代和第四代半導(dǎo)體材料裝備的研發(fā)、生產(chǎn)。
該項(xiàng)目于今年7月落地河北正定縣，目前已經(jīng)完成了廠房的基本改造，展廳的搭建、辦公室的搭建以及凈化生產(chǎn)車(chē)間的搭建。項(xiàng)目負(fù)責(zé)人表示，下一步將加快項(xiàng)目建設(shè)進(jìn)度，爭(zhēng)取在十月下旬正式投產(chǎn)。
資料顯示，晶馳機(jī)電成立于2021年7月，其總部與研發(fā)中心位于杭州市浙江大學(xué)杭州國(guó)際科創(chuàng)中心，致力于碳化硅、金剛石、氮化鋁、氧化鎵等第三、四代半導(dǎo)體材料裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售和應(yīng)用推廣。
目前公司產(chǎn)品包括6英寸、8英寸水平進(jìn)氣和6英寸及8英寸兼容型垂直進(jìn)氣碳化硅外延設(shè)備（LPCVD 法），金剛石生長(zhǎng)設(shè)備（MPCVD 法），金剛石外延設(shè)備、氮化鋁長(zhǎng)晶設(shè)備，碳化硅源粉合成爐，氧化鎵單晶生長(zhǎng)爐（導(dǎo)模法、CZ法），各種晶體和晶片熱處理爐。
據(jù)集邦化合物半導(dǎo)體此前報(bào)道，晶馳機(jī)電還在本月完成了數(shù)千萬(wàn)首輪融資，該筆資金由河北正茂產(chǎn)業(yè)投資有限公司（正定縣政府產(chǎn)業(yè)投資基金）領(lǐng)投。
晶馳機(jī)電表示，該筆融資的完成將有助于推動(dòng)其在第三代、第四代半導(dǎo)體材料裝備的研發(fā)和市場(chǎng)推廣，提升其在國(guó)內(nèi)第三代、第四代半導(dǎo)體裝備行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力，加速推動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。（集邦化合物半導(dǎo)體Morty整理）
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