據(jù)介紹，安儲(chǔ)科技成立于2020年，專(zhuān)注于先進(jìn)電子材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，主營(yíng)產(chǎn)品為配方型功能電子化學(xué)品（如拋光液、清洗液， 濕法刻蝕液， 光刻膠剝離液等）以及電子特氣安全存儲(chǔ)負(fù)壓鋼瓶?jī)纱螽a(chǎn)品系列。

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中科創(chuàng)星提到，碳化硅（SiC）作為寬禁帶半導(dǎo)體，適合高壓、大電流的應(yīng)用場(chǎng)景，近年來(lái)受到新能源汽車(chē)、光伏儲(chǔ)能等行業(yè)影響，市場(chǎng)增速極快，國(guó)內(nèi)SiC產(chǎn)業(yè)也在2021年～2022年得到迅速發(fā)展。但SiC襯底硬度高、脆性大，給拋光帶來(lái)了極大難度。而拋光后因其晶圓和機(jī)臺(tái)的清洗工藝流程更長(zhǎng)，也提高了SiC晶圓的制造成本。因此，目前SiC襯底的拋光液和清洗液由國(guó)際廠商主導(dǎo)，在國(guó)內(nèi)仍屬新興領(lǐng)域。

在SiC襯底拋光清洗上，安儲(chǔ)科技擁有拋光液、拋光后晶圓清洗液、拋光后機(jī)臺(tái)拋光墊清洗液全工藝環(huán)節(jié)耗材產(chǎn)品。與傳統(tǒng)方案相比，安儲(chǔ)科技的產(chǎn)品性能更加優(yōu)異，成本更具競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。

在SiC襯底拋光液方面，目前Fujimi、Ferro、卡博特（Cabot）、圣戈班（Saint-Gobain）等國(guó)際廠商占據(jù)全球大部分市場(chǎng)，這些廠商普遍采用氧化鋁作為研磨顆粒。

安儲(chǔ)科技則創(chuàng)新性的采用了金屬氧化物作為研磨顆粒，其ACTL-WS系列拋光液不僅擁有較高的拋光速率，同時(shí)可獲得低表面粗糙度，低缺陷的晶圓表面。而且拋光液可以循環(huán)使用，降低客戶使用成本。

文：中科創(chuàng)星、集邦化合物半導(dǎo)體整理

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