2018年，特斯拉在Model 3上率先采用了碳化硅器件，自此，碳化硅開始駛?cè)氚l(fā)展的快車道。時至今日，碳化硅正在沖擊8英寸的“龍門”，而設(shè)備端作為碳化硅降本增效不能忽視的一環(huán)，能助力碳化硅飛得更高。
也因此，相關(guān)設(shè)備廠商持續(xù)發(fā)力，不斷滿足產(chǎn)業(yè)鏈對設(shè)備的要求。近日，連城數(shù)控便宣布了一項10.5億的投資項目。
10.5億擴大長晶設(shè)備產(chǎn)能
連城數(shù)控在1月10日發(fā)布公告稱，公司及下屬全資子公司連科半導(dǎo)體擬與無錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)人民政府簽署《錫山區(qū)工業(yè)項目投資協(xié)議書》，計劃在無錫市投資建設(shè)“第三代半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)制造項目”。
目前，這一計劃有了新進展。根據(jù)連城數(shù)控發(fā)布的公告，3月22日，協(xié)議各方已正式完成《第三代半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)制造項目投資協(xié)議書》的全部簽署工作。本次協(xié)議簽署后，協(xié)議各方將按照約定積極推進本次項目投資事宜。
根據(jù)此前的公告內(nèi)容，“第三代半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)制造項目”擬投資不超過10.5億元，規(guī)劃建設(shè)半導(dǎo)體大硅片長晶和加工設(shè)備、碳化硅長晶和加工設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)制造基地。
據(jù)了解，連城數(shù)控主要從事于光伏及半導(dǎo)體行業(yè)，是提供晶體材料生長、加工設(shè)備及核心技術(shù)等多方面業(yè)務(wù)支持的集成服務(wù)商。
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其中，在碳化硅方面，連城數(shù)控于2020年底開始對碳化硅晶體生長爐進行研發(fā)立項、2021年9月開始對碳化硅等超硬材料多線切割機研發(fā)立項。2023年上半年，連城數(shù)控取得了多項技術(shù)研發(fā)成果，如創(chuàng)新推出單晶爐設(shè)備“一鍵拉晶”系統(tǒng)、液相法碳化硅長晶爐順利下線并取得客戶數(shù)臺訂單、碳化硅立式感應(yīng)合成爐科研成果通過專家團鑒定等。而隨著“第三代半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)制造項目”的實施，連城數(shù)控將擴大碳化硅設(shè)備產(chǎn)能，提升企業(yè)在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域的綜合競爭力。
業(yè)績方面，連城數(shù)控在2023年業(yè)績快報中指出，受益于全球光伏及半導(dǎo)體市場需求的持續(xù)穩(wěn)定增長、行業(yè)技術(shù)創(chuàng)新及政策支持等綜合因素的共同作用，光伏及半導(dǎo)體企業(yè)的市場需求仍保持積極增長。2023年，公司實現(xiàn)營業(yè)收入600,003.79萬元，同比增長59.06%；歸母凈利潤70,539.58萬元，同比增長55.97%。
碳化硅設(shè)備企業(yè)“快馬加鞭”
碳化硅風(fēng)頭正勁，設(shè)備企業(yè)迎風(fēng)起跑。除了擴大產(chǎn)能外，碳化硅設(shè)備端也頻繁發(fā)布8英寸技術(shù)產(chǎn)品。
其中，在長晶爐方面，北方華創(chuàng)已開發(fā)了3種機型的8英寸SiC長晶設(shè)備；晶升股份8英寸SiC長晶設(shè)備已在客戶處經(jīng)過批量驗證。
外延設(shè)備方面，北方華創(chuàng)可為6/8英寸SiC產(chǎn)線提供外延爐；晶盛機電在SEMICON China2024上海國際半導(dǎo)體展上發(fā)布了8英寸雙片式碳化硅外延設(shè)備、8英寸碳化硅量測設(shè)備、12英寸全自動減薄拋光設(shè)備；納設(shè)智能、中電48所等也已成功研發(fā)8英寸SiC外延爐。
另一方面，國產(chǎn)碳化硅設(shè)備也逐漸進入國際企業(yè)供應(yīng)鏈體系。受設(shè)備認(rèn)證周期較長、廠商更換成本高、穩(wěn)定性風(fēng)險等因素影響，國產(chǎn)碳化硅設(shè)備企業(yè)走向國際困難重重，但這一現(xiàn)狀正在被打破，比如優(yōu)晶科技便于2023年底獲得一家國際半導(dǎo)體巨頭的碳化硅長晶設(shè)備訂單。
此外，2024年以來，多家碳化硅設(shè)備企業(yè)紛紛更新IPO動態(tài)。
其中，碳化硅外延設(shè)備廠商納設(shè)智能、芯三代均已接受輔導(dǎo)；優(yōu)晶科技、聯(lián)訊儀器也正處于輔導(dǎo)階段。其中，優(yōu)晶科技業(yè)務(wù)中包含SiC長晶設(shè)備設(shè)計、研發(fā)、生產(chǎn)、服務(wù)和銷售；聯(lián)訊儀器則提供高端測試儀器和設(shè)備，產(chǎn)品的應(yīng)用領(lǐng)域包含碳化硅。
而晶亦精微則在2月5日順利過會。據(jù)悉，晶亦精微控股股東是中電科四十五所，實際控制人為中國電科集團。晶亦精微主營半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù)。
結(jié)語
碳化硅從6英寸向8英寸進化的步伐正在加快，而8英寸也將是碳化硅設(shè)備大規(guī)模應(yīng)用的重要戰(zhàn)場。
從技術(shù)到產(chǎn)能再到訂單，國產(chǎn)碳化硅設(shè)備企業(yè)持續(xù)發(fā)力，助力國內(nèi)襯底廠商加速迭代，在全球市場上與國際企業(yè)競爭。（文：集邦化合物半導(dǎo)體 Winter）
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